附表1
測頭技術(shù)參數(shù)：
測頭型號
F400
F1
F1/90
F10
N1
CN02
工作原理
磁感應
電渦流
測量范圍（um）
0-400
0-1250
0-10000
0-1250(銅上鍍鉻0-40um)
10-200
低限分辨力(um)
0.1
10
1
示值誤差
一點校準(um)
±[3%H+1]
±[3%H+10]
±[3%H+1.5]
兩點校準(um)
±[(1～3)%H+0.7]
±[(1～3)%H+1]
±[(1～3)%H+10]
±[(1～3)%H+1.5]
-
測量條件
*小曲率半徑(mm)
凸 1
凸1.5
平直
3
基體*小面積的直徑(mm)
ф3
ф7
ф40
ф5
*小臨界厚度(mm)
0.2
0.5
2
0.3
無限制